29일 산업통상자원부에 따르면 일본 경제산업성은 이날 불화수소 수출 1건을 승인했다. 허가를 받아 수출하는 기업은 일본 스텔라, 수입하는 기업은 삼성전자인 것으로 알려졌다.
불화수소는 반도체 기판으로 쓰이는 실리콘 웨이퍼에 있는 불필요한 회로를 벗겨내는 식각 공정과 불순물을 제거하는 세정 과정에 쓰인다. 일본의 불화수소는 불순물이 거의 없는 고순도(순도 99.999%)로 품질이 뛰어나다는 평가를 받는다.
불화수소는 일본 정부가 지난달 4일 한국에 수출 규제를 처음 시작한 3개 품목(불화수소·플루오린 폴리이미드·포토레지스트(감광재)) 중 하나다. 앞서 일본 정부는 포토레지스트의 수출만 지난 7일과 19일 두 차례에 걸쳐 허가했다. 불화수소의 수출 허가는 이번이 처음이다.
산업부는 한국의 세계무역기구(WTO) 제소에 부담을 느낀 일본 정부가 불화수소의 수출을 허가한 것으로 짐작하고 있다.
김지은 공유경제신문 기자 news@seconomy.kr
